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1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数：
1200单温区3路浮子供气低真空CVD系统
真
空
管
式
炉
产品型号
CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
炉管材质
高纯石英
炉管直径
50mm（可选配60mm、80mm、100mm）
炉管长度
800mm
炉膛长度
440mm
加热区长
400mm
恒温区长
200mm
工作温度
0～1100℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
可抽真空
4.4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
产品型号
CY-3F
气体通道
3通道
测量部件
气体浮子流量计
测量量程
A通道：0～100ml/min H2气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道：16～160ml/min N2气
C通道：25～250ml/min Ar气
测量精度
±2.0%
管道耐压
3MPa
工作压差
50～300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
1.1L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1.0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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