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1200双温区3路质量供气低真空CVD系统同时管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
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真 空 管 式 炉 |
产品型号 |
CY- O1200-50IIT |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
50mm（可选配60mm、80mm、100mm） |
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炉管长度 |
1000mm |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
0～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
LCD |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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法兰接口 |
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 |
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可抽真空 |
4.4E-3Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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供 气 系 统 |
产品型号 |
CY-3Z |
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气体通道 |
3通道 |
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测量部件 |
气体质量流量计 |
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测量量程 |
A通道：0～100SCCM H2气 |
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 |
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B通道：0～300SCCM N2气 |
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C通道：0～500SCCM Ar气 |
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测量精度 |
±1.0%F.S |
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管道耐压 |
3MPa |
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工作压差 |
50～300KPa |
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连接管道 |
304不锈钢 |
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控制阀门 |
304不锈钢针阀 |
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接口规格 |
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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排 气 系 统 |
机械泵 |
旋片泵 |
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抽气速率 |
1.1L/S |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
电阻规 |
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极限真空 |
1.0E-1Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽气接口 |
KF16 |
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