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10L等离子清洗机除了具有清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,在清洗过程中,小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源,能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配,能够满足用户的多样化需求。
10L等离子清洗机技术参数:
主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
清洗仓体 |
清洗仓材质 |
高纯石英 |
清洗仓尺寸 |
直径230mm;长度350mm |
|
射频电源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
|
射频功率 |
0~300W连续可调 |
|
信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
|
反射功率 |
≤100W |
|
功率稳定度 |
±0.1% |
|
射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
|
气体测量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
气体通道 |
两通道 |
|
A通道量程 |
10~100ml |
|
B通道量程 |
16~160ml |
|
真空获取 |
真空测量 |
数字真空计(电阻规) |
真空抽取 |
双极旋片泵 |
|
电机转速 |
50Hz时为:1440;60Hz时为:1720。 |
|
抽气速率 |
50Hz时为:1.1L/s;60Hz时为:1.3L/s。 |
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真空量程 |
1Pa~100000Pa |
|
极限真空 |
1Pa |
|
电机噪音 |
≤56dB |
|
管道接口 |
进气口:KF16;排气口KF16. |
|
连接管道 |
KF16真空波纹管 |
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真空阀门 |
电磁阀 |
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电机功率 |
400W |
|
其它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
整机功率 |
800W |
|
使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
|
工作真空 |
≤40Pa |
|
整机尺寸 |
670mm×670mm×600mm |
|
整机重量 |
100kg |
金属:去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层;
汽车制造:用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理;
纺织品生产:用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理;
生物医疗:培养皿提高活性,血管支架,注射器,导管和各种材料的亲润,交合涂覆前处理;
航空航天:绝缘材料,电子元件等表面涂覆前处理;
电子:线路板的清洗和蚀刻。胶片,PP等材料的无氧化和活化处理,改进可焊性;
半导体行业:晶圆加工及处理去除光刻胶,封装前预处理;
LED:支架清洗封装前预处理;
塑料橡胶:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷
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