双靶等离子溅射镀膜仪（增强型） CY-PSP180G-2TA-RSH 郑州成越科学仪器有限公司

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第12年

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产品详情

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产品名称：双靶等离子溅射镀膜仪（增强型）
产品型号： CY-PLZ180-II-DC-Q
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

本型号小型等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台，能够有效的提升镀膜的均匀性。（本设备配有旋转加热样品台，可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力）该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。设备体积小巧造型美观，是实验室镀膜试验的*佳选择。

详情介绍：

技术参数：

产品名称

双靶等离子溅射镀膜仪（增强型）

产品型号

CY-PLZ180-II-DC-Q

样品台

尺寸

100mm

旋转速度

1~20rpm可调

加热温度

≤500℃

控温精度

±1℃   PID控温

等离子溅射靶

数量

2英寸x2

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 200mm

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

KF25

进气接口

1/4英寸卡套接头

电源配置

数量

直流电源x1

输出功率

*大150W

溅射电源

3000V

*大溅射电流

50mA

真空系统

真空泵类型

双极旋片真空泵

抽气接口

KF25

排气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s（4m³/h）

极限真空度

≥1Pa

真空测量

电阻真空规

其　　他

供电电源

AC 220V 50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

570mm X 450mm X550mm

整机重量

30kg

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产品名称	双靶等离子溅射镀膜仪（增强型）
产品型号	CY-PLZ180-II-DC-Q
样品台	尺寸	100mm
	旋转速度	1~20rpm可调
	加热温度	≤500℃
	控温精度	±1℃ PID控温
等离子溅射靶	数量	2英寸x2
等离子溅射靶	冷却方式	水冷
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 200mm
	观察窗口	全向可视
	腔体材料	高纯石英
	开启方式	顶盖拆卸式
	上下盖材质	304不锈钢
	抽气接口	KF25
	进气接口	1/4英寸卡套接头
电源配置	数量	直流电源x1
	输出功率	*大150W
	溅射电源	3000V
	*大溅射电流	50mA
真空系统	真空泵类型	双极旋片真空泵
	抽气接口	KF25
	排气接口	KF16
	抽气速率	1.1L/s（4m³/h）
	极限真空度	≥1Pa
	真空测量	电阻真空规
其　　他	供电电源	AC 220V 50Hz
	整机功率	2kW
	整机尺寸	570mm X 450mm X550mm
	整机重量	30kg

产品名称：双靶等离子溅射镀膜仪（增强型）