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防腐型旋转涂覆仪采用聚四氟乙烯腔体,外观美观坚固,具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性,能够用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。仪器采用先进的精密电机,转速能达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。另外本仪器采用触控屏控制,可以预设匀胶曲线,大大简化了使用过程降低了学习成本,十分适合实验室选购。
防腐型旋转涂覆仪适用范围:
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。
防腐型旋转涂覆仪技术参数:
|
项目 |
明细 |
旋涂仪 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
转速 |
0~10000rpm |
|
加速度 |
100~5000rpm/s |
|
转速分辨率 |
±1rpm |
|
单步时间 |
3000s |
|
基片尺寸 |
直径≤8英寸(200mm) |
|
腔体材质 |
聚四氟乙烯 |
|
操作方式 |
7寸高清LCD触控屏 |
|
滴胶方式 |
手动滴胶,可选购精密注射泵 |
|
匀胶曲线 |
每条曲线5段,共可储存5条曲线 |
|
抽气接口 |
φ6mm 快拧接口 |
|
整机尺寸 |
290mm×365mm×260mm |
|
整机重量 |
12kg |
|
排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
抽气速率 |
50L/min |
|
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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