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等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机除了具有清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，在清洗过程中，小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源，能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配，能够满足用户的多样化需求。
技术参数：
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主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
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清洗仓体 |
清洗仓材质 |
不锈钢 |
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清洗仓尺寸 |
195mm x 300mm x240mm |
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射频电源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
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电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~500W连续可调 |
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信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气体测量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
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气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空获取 |
真空测量 |
数字真空计（电阻规） |
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真空抽取 |
分子泵组 |
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抽气速率 |
旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s |
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极限真空 |
1.0E-4Pa |
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管道接口 |
进气口：φ8快拧接头; 抽气口KF40/KF16 |
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连接管道 |
KF40真空波纹管 |
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电机功率 |
400W/1.5KW |
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其它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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整机功率 |
1000W |
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使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
650mmX650mmX550mm |
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整机重量 |
90kg |
应用领域：
金属：去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层；
汽车制造：用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理；
纺织品生产：用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理；
生物医疗：培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理；
航空航天：绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理；
电子：线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性；
半导体行业：晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理；
LED：支架清洗封装前预处理；
塑料橡胶：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
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