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1200℃管式炉技术参数：
|
供电电压 |
AC220V，50Hz |
|
*大功率 |
4KW |
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加热温区 |
单温区 440mm |
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工作温度 |
≤1200℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
φ80mm I.D x 1000mm L |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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真空测量 |
机械式压力表 |
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工作气体 |
氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 |
三路质量流量计参数：
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阀门类型 |
不锈钢针阀 |
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气路数量 |
三路 |
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承压范围 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
0~100 SCCM (H2) 0~200 SCCM（Ar） 0~500 SCCM（CH4） |
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流量控制范围 |
±1.5% |
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混气罐容积 |
750mL |
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气路材料 |
304不锈钢 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
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供电电源 |
AC220V 50Hz |
