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本套配置采用石英真空腔体，镀膜过程全向可视，便于实验的观察记录，腔体设计开启方便，易于清理，十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手。
设备的真空获得系统采用两级真空泵组，前级泵为大抽速机械泵，有效缩从常压至低真空的时间，主泵为涡轮分子泵，抽速高，真空获取速度更快。 整体真空获得系统干净快速。
技术参数：
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项目 |
明细 |
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产品型号 |
CY-MSH270-I-RF-Q |
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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整机功率 |
3KW |
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系统真空 |
≦5×10-4Pa |
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样品台 |
尺寸 |
150mm |
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加热温度 |
≤500℃ |
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旋转速度 |
1-20r/min |
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控温精度 |
±1℃ |
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磁控溅射头 |
数量 |
2英寸 x1 |
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冷却方式 |
水冷 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ270mm X 200mm |
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观察窗口 |
全向可视 |
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开启方式 |
顶盖拆卸式 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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真空系统 |
机械泵 |
CY240 |
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抽气接口 |
KF16 |
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抽气速率 |
1.1L/s |
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分子泵 |
CY600 |
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抽气接口 |
KF40 |
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抽气速率 |
600L/s |
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排气接口 |
KF40 |
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真空测量 |
电阻规+电离规 |
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供电电源 |
AC;220V 50/60Hz |
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气体控制 |
1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM |
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膜厚测量 |
可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制系统 |
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电源配置 |
直流电源数量 |
1台 |
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输出功率 |
≤500W |
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输出电压 |
≤600V |
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响应时间 |
＜5ms |
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射频电源数量 |
1台 |
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输出功率 |
≤1000W |
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功率稳定度 |
≤5W |
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测量精度 |
±0.5% |
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测量速度 |
100~1000ms |
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测量上限 |
50000 |
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