产品名称

 15KW 2000℃温度可控型感应加热炉

产品型号

 CY-IV216-15KW-Q

主要特点

    1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5

          torr。

    5、迷你型浮子流量计精度为4%。

    6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。

感应加热器

工作电压

三相AC 380 V  50Hz（需60 A空气开关）

工作电流

5Amps-52Amps（需100A空气开关）

功率

*大输入功率15KW

输出频率

30KHz-80 KHz

占空比

80%

感应线圈

内径Φ220 mm，高65 mm

空气冷却

后风扇

温度控制器及热电偶

工作电压

AC208V-240V  单相

控温精度

±3℃

热电偶

C型，外径Φ1/4″，长10″

连续工作温度范围

1000℃-2000℃

*大升温速率

4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

石墨坩埚（易耗件）

高纯石墨坩埚

外径Φ114mm，内径Φ100mm，高142mm 

*大容量

样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，*大质量为4kg（以铁标定）

保温层

石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温1700℃）- 高温毡，总厚度为32mm

石英管和密封法兰

石英管

 两端开口，外径Φ216mm，内径Φ208mm，长500mm

顶部法兰

采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4″的铠装接口（可插入热电）偶至石英管内部，更准确地测量样品温度

底部法兰

设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接

水冷机

温度

5℃-30℃

水流速

>16L/min

水箱容积

12L，采用不锈钢制作

水压

≥0.1MPa

流量

≥5L/min

   （建议使用特定的冷却剂液以达到*佳的冷却效果）

真空泵

工作电压：AC208V-240V单相

移动炉架

尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管

注意事项

  操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，

  流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超

  过**值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造**身伤害。

其他事项

  本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。