产品详情
  • 产品名称:膜厚监控仪

  • 产品型号:CY-FTM107-A
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
适用于电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,通过触摸屏和数码管显示,使您能获取完整的沉积数据。 采用了更先进的软件和硬件设备,进一步提高了仪器抗干扰能力。
详情介绍:

一、技术特点:

1.全触摸屏操作显示,简单易用;

2.二组继电器输出,到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源;

3.实时显示速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间;

4.提供RS232/RS485接口。

二.应用范围:

适用于电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,通过触摸屏和数码管显示,使您能获取完整的沉积数据。

采用了更先进的软件和硬件设备,进一步提高了仪器抗干扰能力。   

三、主要参数:

CY-FTM107-A监控仪

晶振频率

 6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体)

显示方式

5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚

操作方式

 触摸屏

厚度显示范围

0-99μ9999Å

厚度实际分辨率

0.1Å(铝)

厚度显示分辨率

速率范围

0-999.9Å

速率显示分辨率

0.1Å/s

镀膜层数

99

探头输入

4路(任选一路工作)

工具因子

0.01-99.99

材料存储

257+自定义10

通 讯

RS232/RS485

挡板/源控制

2组触点,到达厚度关挡板/蒸发源

镀膜显示

速率曲线/数值

镀膜巡回次数

0-99

机箱尺寸

480×250×89mm(2U 19”机箱)

四.特殊功能:

1)具有人工停止镀膜功能  

2)可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比

3)显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次

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