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一、应用范围：
本膜厚监控仪适用于真空电阻热蒸发、磁控溅射等镀膜厚度测量，到达设置厚度自动关闭挡板；通过液晶显示使您能连续获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和晶体振荡频率。
二、技术参数：
CY-FTM-V监控仪
晶振频率
6MHz
显示方式
液晶屏显示
操作方式
面板按键
厚度显示范围
0-99μ9999Å
厚度显示分辨率
1Å
速率显示范围
0-9999.9Å
速率显示分辨率
0.1Å/s
镀膜层数
16
探头输入
4路（任选一路工作）
工具因子
0.01-99.99
材料存储
52种
镀膜巡回次数
0-99
通 讯
RS232
源/挡板
2组继电器触点
机箱尺寸
480×250×89mm(2U
19”机箱)
