等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪 CY-EVS180S-HV 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪
产品型号：CY-EVS180S-HV
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。

详情介绍：

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围：

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数：

供电电压

AC220V，60Hz

*大功率

1200W

样品台

直径φ65mm；

与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm

真空腔体

材质：304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

*高温度

1700℃

热电偶

B型热电偶

真空计

电子式真空计

真空系统

前级泵：浦发MVP030 无油泵抽速30L/min

次级泵：莱宝TURBOVAC 90iX 抽速90L/s

真空接口

KF40

进气接口

1/4卡套接头

整机尺寸

500x350x400mm

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供电电压	AC220V，60Hz
*大功率	1200W
样品台	直径φ65mm；与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm
真空腔体	材质：304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm
*高温度	1700℃
热电偶	B型热电偶
真空计	电子式真空计
真空系统	前级泵：浦发MVP030 无油泵抽速30L/min 次级泵：莱宝TURBOVAC 90iX 抽速90L/s
真空接口	KF40
进气接口	1/4卡套接头
整机尺寸	500x350x400mm

产品名称：等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪