企业信息
第12年
- 入驻时间： 2013-08-20
- 联系人：汪纪彬
- 电话：0371-55199322 0371-55365392
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- 联系人 : 汪纪彬
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- Email : wjb@cykeyi.com
- 邮编 : 450000
- 公司网址 : http://www.cykeyi.com
- QQ : 645710188
产品详情
简单介绍：
CY-PECVD-450化学气相沉积采用等离子体增强型化学气相沉积技术，能够利用高能量等离子体促进反应过程，有效提升反应速度，降低反应温度。适用于在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂，适用于制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件，可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
详情介绍：
技术参数：
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产品型号 |
CY-PECVD-450T-SS |
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真空腔体 |
前开门式，φ300mm X 300mm 不锈钢材质 观察窗：φ100mm 带挡板 |
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真空泵组 |
前级泵：旋片泵 抽速1.1L/s 次级泵：涡轮分子泵 抽速600L/s |
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极限真空度 |
10-6Pa 三十分钟内可达到 10-4Pa |
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沉积真空 |
0.133~133Pa，可根据工艺调整 |
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射频电源 |
13.56MHz，500W，自动匹配 |
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流量控制 |
质量流量计，默认 Ar气 0~200sccm |
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整机尺寸 |
1100mm x 800mm x1100mm |
