桌面型双靶磁控镀膜仪 CY-MSP210S-RFD 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：桌面型双靶磁控镀膜仪
产品型号：CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

CY-MSP210S-RFD桌面型双靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计，在保留高真空不锈钢腔体的同时，精简了其他机构，将设备外形限制在了桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源一个射频电源，直流靶可用于金属及其他导电材料的溅射，射频电源可用于各种非金属和金属氧化物等的溅射。设备真空系统采用全进口真空泵，抽气速度快，极限真空度高，真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用，非常适合用于各类镀膜试验。

详情介绍：

技术参数：

产品名称

桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪

产品型号

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

样品台

外形尺寸

φ100mm

加热温度

≦500℃

可调转速

≦20rpm

磁控靶枪

配两支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm

真空腔体

腔体尺寸

φ210mm X260mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

304不锈钢

开启方式

上盖拆卸式

真空系统

前级泵

低噪音双极旋片泵

分子泵

低噪音大抽速涡轮分子泵

真空测量

复合真空计，量程:10^-5~10⁵Pa

抽气接口

KF16

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

系统真空

1.0×10^-4Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s

电源配置

电源数量

直流电源两套

输出功率

500W

其他参数

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

4kW

整机尺寸

550mm X 350mm X900mm

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产品名称	桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪
产品型号	CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
样品台	外形尺寸	φ100mm
	加热温度	≦500℃
	可调转速	≦20rpm
磁控靶枪	配两支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm
真空腔体	腔体尺寸	φ210mm X260mm
	观察窗口	全向透明
	腔体材料	304不锈钢
	开启方式	上盖拆卸式
真空系统	前级泵	低噪音双极旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速涡轮分子泵
	真空测量	复合真空计，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽气接口	KF16
	抽气接口	KF40
	排气接口	KF16
	系统真空	1.0×10^-4Pa
	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s
电源配置	电源数量	直流电源两套
电源配置	输出功率	500W
其他参数	供电电压	AC220V,50Hz
	整机功率	4kW
	整机尺寸	550mm X 350mm X900mm

产品名称：桌面型双靶磁控镀膜仪

技术参数：