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本产品为手套箱专用型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1700℃，能够满足常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作，具有便于观察镀膜过程，易于清洗的优点；配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空，能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。仪器体积小巧，经过小型化设计，可有效节约实验室空间，专为手套箱内使用设计；操作简单，对不同材料的适应性强，十分适合实验室选购。
手套箱专用型小型蒸发镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
手套箱用小型蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVZ180-I-H-Q |
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样品台 |
外形尺寸 |
直径φ60mm |
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转速 |
≦20rpm |
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至蒸发源间距 |
20～55mm 连续可调 |
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热蒸发源 |
有机蒸发源（石英舟和钨丝发热源） |
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蒸发电源 |
每个蒸发源配一组独立电源 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ180mm，高度100mm |
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观察窗口 |
直径φ60mm |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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开启方式 |
上开启式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
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次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速600L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC220V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整机功率 |
1200W |
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整机重量 |
40kg |
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