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PE-HPCVD等离子增强混合物理化学气相沉积系统
本产品是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积（PE-HPCVD)双温区旋转管式炉系统。该设备包括一台双温区管式炉，一套钨丝蒸发源，一套等离子发生装置以及一套质量流量计系统。其工作原理是通过蒸发源将反应物在进气端蒸发后通过气流载入管式炉温区内进行CVD反应，同时通过等离子增强促进反应的发生，适用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆,如制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等。
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双温区管式炉 |
产品型号 |
CY-PE-HPCVD-50R-1100-Q |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
50mm |
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炉管长度 |
1200mm |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
0～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
高清全彩LCD触控屏 |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz 2.5kW |
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RF输出系统 |
功率范围 |
0~300W可调 |
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工作频率 |
13.56MHz+0.005% |
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工作模式 |
连续输出 |
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匹配阻抗模式 |
能够匹配，起辉均匀布满炉管 |
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功率稳定度 |
≤2W |
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正常工作反射功率 |
≤3W |
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放大反射功率 |
≤70W |
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谐波分量 |
≤-50dBc |
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整机效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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供电电压/频率 |
单相交流（187V~153V） 频率50/60Hz |
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控制模式 |
内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯 |
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电源保护设置 |
DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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起辉长度 |
在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满炉管 |
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蒸发舟 |
工作温度 |
1300℃ |
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蒸发源 |
钨丝篮,可选配锥形氧化铝坩埚 |
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热电偶 |
S型热电偶 |
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工作电流 |
≤30A |
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*大功率 |
500W |
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供气系统 |
流量计 |
四路质子流量计 |
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流量范围 |
MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar、 |
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测量精度 |
±1.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%FS |
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线性精度 |
±1%F.S. |
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响应时间 |
≤4s |
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工作压力 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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流量控制 |
液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制 |
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进气接口 |
可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 |
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出气接口 |
可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 |
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连接方式 |
双卡套接头 |
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工作温度 |
5~45℃ |
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气体预混 |
配气体预混装置 |
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真空系统
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产品型号 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
涡轮分子泵 |
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前极泵 |
双极旋片泵 |
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抽气速率 |
分子泵：600L/S |
综合抽气性能：30分钟真空度可达：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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极限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
复合真空计 |
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