企业信息
第12年
- 入驻时间： 2013-08-20
- 联系人：汪纪彬
- 电话：0371-55199322 0371-55365392
-
联系时，请说明易展网看到的
- Email：wjb@cykeyi.com
- 磁控溅射镀膜仪
- 热蒸发镀膜仪
- 高温熔炼炉
- 等离子镀膜仪
- 可编程匀胶机
- 涂布机
- 等离子清洗机
- 放电等离子烧结炉
- 静电纺丝
- 金刚石切割机
- 快速退火炉
- 晶体生长炉
- 真空管式炉
- 旋转管式炉
- PECVD气相沉积系统
- 热解喷涂
- 提拉涂膜机
- 二合一镀膜仪
- 多弧离子镀膜仪
- 电子束，激光镀膜仪
- CVD气相沉积系统
- 立式管式炉
- 1200管式炉
- 高温真空炉
- 氧化锆烧结炉
- 高温箱式炉
- 箱式气氛炉
- 高温高压炉
- 石墨烯制备
- 区域提纯炉
- 微波烧结炉
- 粉末压片机
- 真空手套箱
- 真空热压机
- 培育钻石
- 二硫化钼制备
- 高性能真空泵
- 质量流量计
- 真空法兰
- 混料机设备
- UV光固机
- 注射泵
- 气体分析仪
- 电池制备
- 超硬刀具焊接炉
- 环境模拟试验设备
- 实验室产品配件
- 实验室镀膜耗材
- 其他产品
联系我们
- 联系人 : 汪纪彬
- 联系电话 : 0371 5519 9322
- 传真 : 0371-8603 6875
- 移动电话 : 138 3718 9935
- 地址 : 郑州市高新区金盏街郑州亿达科技新城5号楼四楼401
- Email : wjb@cykeyi.com
- 邮编 : 450000
- 公司网址 : http://www.cykeyi.com
- QQ : 645710188
产品详情
简单介绍：
1200℃高真空迷你CVD设备核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热。1200℃高真空迷你CVD设备包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分
详情介绍：
1200℃高真空迷你CVD设备该组CVD设备为小型化CVD系统，核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热，设备*高温度可达1200℃。仪器还包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分。
特点
1. 炉管右侧有数显真空计，用以控制炉管内部的真空度和气氛环境。
2. 系统采用PID智能控温，控温精度能达到±1℃。
3. 管式炉在操作上采用温控表操作，可预设控温曲线，
4. 一键启停，便于使用，能够简化实验操作进而节约试验时间。
5. 高真空分子泵组可以有效提高本低真空度，提高反应产物的质量。
技术参数：
|
1200℃迷你管式炉 |
供电电压 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加热温区 | 单温区200mm | |
| 恒温区长 | 100mm | |
| 加热元件 | 耐热合金丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
|
工作温度 |
≤1150℃ |
|
|
升温速率 |
建议≤10℃/min |
|
|
控温精度 |
±1℃ |
|
|
控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶保护 |
|
|
炉管材质 |
高纯石英 |
|
|
炉管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
|
|
真空泵 |
机械泵 抽速1.1L/s |
|
|
极限真空 |
5Pa |
|
三路浮子流量计 |
阀门类型 |
不锈钢针阀 |
|
气路数量 |
三路 |
|
|
承压范围 |
0.05~0.3MPa |
|
|
量程 |
160 SCCM (Air) |
|
|
混气罐容积 |
750mL |
|
|
气路材料 |
304不锈钢 |
|
|
管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
|
分子泵组参 |
产品型号 |
CY-GZK103-A |
|
|
分子泵 |
涡轮分子泵 |
||
|
前极泵 |
双极旋片泵 |
||
|
抽气速率 |
分子泵：60L/S |
综合抽气性能： 30分钟真空度可达：5×10E-3Pa |
|
|
旋片泵：1.1L/S |
|||
|
极限真空 |
5×10E-4Pa |
||
|
抽气接口 |
KF40 |
||
|
排气接口 |
KF16 |
||
|
真空测量 |
复合真空计 |
||
