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本产品为桌面型小型双源蒸发镀膜仪，设备安装有两套蒸发源，各蒸发源分别供电，可交替开启也可同时开启；每个蒸发源可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀，因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。两组蒸发源对称放置，每个蒸发源均具有单独的挡板，可保证镀膜过程中不被污染。
小型双源蒸发镀膜技术参数：
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产品名称 |
桌面型双源蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS |
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样品台 |
外形尺寸 |
直径φ60mm |
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转速 |
≦20rpm |
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至蒸发源间距 |
60～100mm 连续可调 |
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热蒸发源 |
配 2 个钨舟、2个钨丝篮 |
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蒸发电源 |
2个，每个蒸发源均配挡板 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ170mm，高度210mm |
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观察窗口 |
直径φ60mm |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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开启方式 |
上开启式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
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次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速600L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC220V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整机功率 |
1200W |
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整机重量 |
40kg |
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