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旋转PECVD
本产品为等离子增强回转化学气相沉积系统（旋转PECVD），炉管采用变径设计，中部管径较粗且有有混料隔板，能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合，通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转，使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果；设备另配有等离子发生装置，采用电感耦合与炉管连接，产生的等离子能够满布炉管，有效的提高反应物活化能，降低反应温度，提高反应效率。设备配有三路质量流量计及混气装置，可用于向路管内通入多种气体，同时设备配有高性能机械泵，能够快速将炉管抽至真空；通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。旋转装置十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。
技术参数
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双温区管式炉 |
产品型号 |
CY-PECVD60R-1200-Q |
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设备功率 |
3KW |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英异型管） |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
0～1150℃ |
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极限温度 |
1200℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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热电偶类型 |
K型热电偶 |
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控温模式 |
30段程序控温，PID参数自整定 |
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显示模式 |
高清全彩LCD触控屏 |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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旋转速度 |
0~13rpm |
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倾斜角度 |
0~35° |
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3路质量流量计 |
产品型号 |
CY-3Z |
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气路数量 |
3路 |
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流量计类型 |
质量流量计 |
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测量范围 |
A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm |
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测量精度 |
±1.5% |
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工作压差 |
0.1~0.5MPa |
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管路接口 |
1/4英寸卡套接头 |
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供电 |
AC220V 50/60Hz |
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真空系统 |
真空泵 |
双极旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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抽气接口 |
KF16 |
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泵极限真空度 |
10E-1Pa |
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供电 |
AC220V 50/60Hz |
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射频电源 |
信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
0~500W |
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*大反射功率 |
100W |
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射频输出接口 |
50Ω，N-Type，female |
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功率稳定度 |
≤5W |
