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本设备为桌面型行星式单靶磁控镀膜仪，腔体下半部为不锈钢机构，上部为高纯石英，兼顾了真空性能和容纳复杂样品台的功能型。设备外形为桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源，可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组，抽气速度快，极限真空度高，真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用，非常适合用于各类镀膜试验。
行星式单靶磁控镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
行星式单靶磁控镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-MSZ180-50X-I-DC-Q |
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样品台 |
外形尺寸 |
φ50mm |
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加热温度 |
≦500℃ |
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可调转速 |
≦20rpm |
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磁控靶枪 |
配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ180mm X100mm |
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观察窗口 |
全向透明 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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开启方式 |
上盖拆卸式 |
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真空系统 |
前级泵 |
低噪音双极旋片泵 |
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分子泵 |
低噪音大抽速涡轮分子泵 |
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真空测量 |
复合真空计，量程:10-5~105Pa |
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抽气接口 |
KF16 |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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系统真空 |
1.0×10-4Pa |
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供电电源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽气速率 |
分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s |
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电源配置 |
电源数量 |
直流电源一套 |
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输出功率 |
500W |
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其他参数 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机功率 |
2kW |
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整机尺寸 |
550mm X 350mm X400mm |
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