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等离子清洗机是一种小型化、非破坏性的清洗设备。该等离子清洗机采用低气压激发等离子体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。仪器配有一台机械真空泵，在抽真空维持腔体真空度的同时也能将被等离子反应后的污染物通过真空泵抽走；因此短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉。
等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
本款小型等离子清洗机除了具有清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，在清洗过程中，小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源，能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配，能够满足用户的多样化需求。
等离子清洗机技术参数：
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主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
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清洗仓体 |
清洗仓材质 |
304不锈钢 |
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清洗仓尺寸 |
195*300*240 |
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射频电源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
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电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~500W连续可调/0~1000W连续可调 |
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信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤200W |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气体测量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
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气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空获取 |
真空测量 |
数字真空计（电阻规） |
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真空抽取 |
双极旋片泵 |
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电机转速 |
50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 |
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抽气速率 |
50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。 |
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真空量程 |
1Pa～100000Pa |
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极限真空 |
1Pa |
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电机噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
进气口：KF16;排气口KF16. |
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连接管道 |
KF16真空波纹管 |
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真空阀门 |
电磁阀 |
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电机功率 |
400W |
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其它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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整机功率 |
800W |
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使用温度 |
-10℃ - 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
650mm×650mm×550mm |
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整机重量 |
110kg |
等离子清洗机应用领域：
金属：去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层；
汽车制造：用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理；
纺织品生产：用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理；
生物医疗：培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理；
航空航天：绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理；
电子：线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性；
半导体行业：晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理；
LED：支架清洗封装前预处理；
塑料橡胶：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
