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净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等，例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时，可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶； 是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台，可分别独立工作，也可两台同时工作
净化型匀胶机技术参数：
产品名称
净化旋涂仪带加热台
产品型号
CY-SPC4-SS-JH
匀胶机
电源电压
AC220V, 50Hz
旋转速度
0~9999rpm, adjustable
加速度
100~5000rpm/s
速度分辨率
1rpm
时间分辨率
1s
单步时间
3000s
基片尺寸
直径≤4英寸（100mm）
腔体材质
亚克力
操作方式
按键+液晶屏
点胶方式
手动点胶，可选精密注射泵
匀胶曲线
每条曲线5段，共可存储5条曲线
抽气口
φ6mm快拧接口
真空吸盘
直径10mm, 25mm, 55mm
整体尺寸
210mm×250mm×180mm
加热板
加热板尺寸
150*150mm
加热温度
RT~300C
温度分辨率
0.1C
控温精度
±1C
温度均匀性
<±2C
电源
AC220V, 50Hz
净化柜
尺寸
800*680*1700mm
内部布局
内部左侧放4英寸亚克力腔体匀胶机，右侧放加热板
净化等级
美国标准100%
照明
内置LED照明灯
排气系统
真空泵
干式机械泵
抽气速率
50L/min
电源
AC220V, 60Hz
