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桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪是一种紧凑型镀膜设备,采用磁控溅射技术在基片表面沉积薄膜。其核心特点包括:
铝合金真空腔体:轻量化设计,耐腐蚀性好,适合实验室或小规模生产环境。
单靶配置:支持单一靶材(如金属、合金或氧化物),结构简单,操作便捷。
磁控溅射技术:利用磁场约束等离子体,提高溅射效率,形成均匀、致密的薄膜。
桌面设计:体积小巧,适合科研院所、高校实验室等空间有限的场所。
应用领域:
该设备广泛用于材料科学、光学、电子等领域,具体包括:
光学薄膜:如增透膜、反射膜、滤光片等。
电子器件:半导体电极、导电薄膜(如ITO)、传感器涂层。
功能材料:耐磨涂层(如TiN)、防腐涂层、超硬薄膜(类金刚石)。
科研实验:新材料开发、薄膜性能测试、教学演示等。
磁控溅射镀膜仪技术参数:
产品名称 |
桌面型铝合金腔体单靶磁控溅射镀膜仪 |
|
产品型号 |
CY-MSZ200-I-DC-AA |
|
样品台 |
外形尺寸 |
φ100mm |
加热温度 |
≦500℃ |
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旋转 |
自转+公转角度倾斜2英寸 |
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可调转速 |
≦20rpm |
|
磁控靶枪 |
配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ200mm X 150mm |
观察窗口 |
全向透明 |
|
腔体材料 |
铝合金 |
|
开启方式 |
上盖拆卸式 |
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真空系统 |
真空测量 |
复合真空计,量程:10-5~105Pa |
抽气接口 |
KF25 |
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抽气接口 |
KF25 |
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排气接口 |
KF25 |
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系统真空 |
1.0E-1Pa(机械泵) |
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供电电源 |
AC 220V 50/60Hz |
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电源配置 |
电源数量 |
直流电源一套 |
输出功率 |
直流电源500W |
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其他参数 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
整机功率 |
2kW |
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重 量 |
30kg |
|
整机尺寸 |
385X450X420mm |