产品名称：5L等离子清洗机13.56MHz

产品介绍：

      5L等离子清洗机13.56MHz采用纯净的石英腔体，主机频率13.56MHz，可用于多种材料的高效清洗。清洗效果远远优于40KHz的低频清洗。台式高效等离子清洗机可用于手机屏幕、仪表屏幕等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的亲水性处理。5L等离子清洗机13.56MHz是材料制备过程中****的理想产品。

使用范围：

（1）表面清洗

       材料表面尝尝会有油脂、油污等有机物及氧化层，在粘合、焊接前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。适用于金属、玻璃、陶瓷灯多种材料。

（2）表面活化

      塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。在惰性材料表面生成活性基团，增强表面极性，提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比，不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，盲孔和带缝隙的样品也可以处理。

（3）表面刻蚀

       在等离子刻蚀过程中，通过处理　气体的作用，被刻蚀物会变成气化物（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理　气体和基体气化物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理　气体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料。）

（4）表面接枝与聚合

       在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，采用等离子体接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为：首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团，利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合，后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团，以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。

产品特点：

1) 采用触摸屏控制，输出功率连续可调；
2) 可实现定时关机；
3) 实时真空压力检测；
4) 输出功率实时检测，无输出报警。

主要参数：

主要部件	指标名称	参数指标
清洗仓体	清洗仓材质	高纯石英
	清洗仓尺寸	直径200mm;长度170mm
射 频 电 源	电源特性	该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。
	电源优势	●可长时间正常运行 ● 操作简单灵活 ● 电源效率高、发热少 ● 具有完善的反射功率保护功能
	射频功率	0~500W连续可调/0~1000W连续可调
	信号频率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率稳定度	±0.1%
	射频接头	N型头
	整机效率	≥75%
	谐波分量	≤-50 dBc
	冷却方式	强制风冷
气 体 测 量	测量部件	浮子流量计
	气体通道	两通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真 空 获 取	真空测量	数字真空计（电阻规）
	真空抽取	双极旋片泵
	电机转速	50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。
	抽气速率	50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	极限真空	0.5Pa
	电机噪音	≤56dB
	管道接口	进气口：KF16;排气口KF16.
	连接管道	KF16真空波纹管
	真空阀门	KF16球阀
	电机功率	400W
其 它	供电电源	AC220V 50/60Hz
	整机功率	1000W/1500W
	使用温度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整机尺寸	600mmX650mmX730mm
	整机重量	80kg（含包装）

等离子体产生原理：

在真空状态下（约10~100Pa）,给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会由气态转变为等离子体状态（也成物质的第四态）。其中含有大量的电子、离子、光子和各类自由基等活性粒子。等离子体表面改性技术就是利用这些高能粒子和活性粒子与材料表面发生物理或化学的反应，从而达到改变材料表面性质的目的。

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