- 入驻时间： 2013-08-20
- 联系人：汪纪彬
- 电话：0371-55199322 0371-55365392
-
联系时，请说明易展网看到的
- Email：wjb@cykeyi.com
- 磁控溅射镀膜仪
- 热蒸发镀膜仪
- 高温熔炼炉
- 等离子镀膜仪
- 可编程匀胶机
- 涂布机
- 等离子清洗机
- 放电等离子烧结炉
- 静电纺丝
- 金刚石切割机
- 快速退火炉
- 晶体生长炉
- 真空管式炉
- 旋转管式炉
- PECVD气相沉积系统
- 热解喷涂
- 提拉涂膜机
- 二合一镀膜仪
- 多弧离子镀膜仪
- 电子束，激光镀膜仪
- CVD气相沉积系统
- 立式管式炉
- 1200管式炉
- 高温真空炉
- 氧化锆烧结炉
- 高温箱式炉
- 箱式气氛炉
- 高温高压炉
- 石墨烯制备
- 区域提纯炉
- 微波烧结炉
- 粉末压片机
- 真空手套箱
- 真空热压机
- 培育钻石
- 二硫化钼制备
- 高性能真空泵
- 质量流量计
- 真空法兰
- 混料机设备
- UV光固机
- 注射泵
- 气体分析仪
- 电池制备
- 超硬刀具焊接炉
- 环境模拟试验设备
- 实验室产品配件
- 实验室镀膜耗材
- 其他产品
- 联系人 : 汪纪彬
- 联系电话 : 0371 5519 9322
- 传真 : 0371-8603 6875
- 移动电话 : 138 3718 9935
- 地址 : 郑州市高新区金盏街郑州亿达科技新城5号楼四楼401
- Email : wjb@cykeyi.com
- 邮编 : 450000
- 公司网址 : http://www.cykeyi.com
- QQ : 645710188
产品特点
1：此款镀膜仪配置有两个靶枪：一个靶枪配套的是射频电源，用于非导电靶材的溅射镀膜；一个靶枪配套的是直流电源，用于导电材料的溅射镀膜
2：该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜，应用非常广泛。
3：该镀膜仪体积较小，且配备有触摸屏控制面板，操作方便。
产品参数:
项目
明细
产品型号
CY-MSH500- II-DCRF-SS
供电电压
AC220V，50Hz
整机功率
4KW
系统真空
≦5×10-4Pa
样品台
外形尺寸
φ140mm
加热温度
≦500℃
控温精度
±1℃
可调转速
≦20rpm
磁控靶枪
靶材尺寸
直径Φ50.8mm，厚度≦3mm
冷却模式
循环水冷
水流大小
不小于10L/Min
真空腔体
腔体尺寸
直径φ500mm，高度560mm
腔体材质
SUU304不锈钢
观察窗口
直径φ100mm
开启方式
顶开式
气体控制
1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM
真空系统
配分子泵系统1套，气体抽速600L/S
膜厚测量
可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å
溅射电源
直流电源500W,射频电源500W
控制系统
CYKY自研专业级控制系统
设备尺寸
600mm
× 650mm × 1280mm
设备重量
350kg
