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防腐蚀匀胶机主要特点：
1.表壳和旋转盘由聚丙烯（PP）制成，可抵抗大部分腐蚀性溶液。
2.数字控制箱与旋涂机分开。
3.标配一个过滤器。它用于连接泵和涂布机，以防止废水流入泵。
4.标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。
5.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作稳定。
6.内腔直径150mm，PP防腐真空吸盘Φ100mm，可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物。
7.数字控制面板，带有6个可编程段，可实现不同的旋转时间和速度。
8.电机启动快速稳定，可以保证图层厚度的一致性和均匀性。
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项目 |
明细 |
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旋涂仪 |
供电电压 |
AC220V，50Hz |
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转速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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转速分辨率 |
1rpm |
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单步时间 |
3000s |
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基片尺寸 |
直径≤8英寸（200mm） |
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腔体材质 |
聚四氟 |
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操作方式 |
7寸高清LCD触控屏 |
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滴胶方式 |
手动滴胶，可选购精密注射泵 |
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匀胶曲线 |
每条曲线5段，共可储存5条曲线 |
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抽气接口 |
φ8mm 快拧接口 |
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整机尺寸 |
290mm×365mm×310mm |
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整机重量 |
12kg |
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排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
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抽气速率 |
50L/min |
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供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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