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等离子溅射和碳蒸发二合一镀膜仪产品性能:
等离子溅射和碳蒸发二合一镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。
等离子溅射和碳蒸发二合一镀膜仪技术规格:
输入电压 |
208 - 240 VAC,单相,50/60 Hz |
功率 |
<2000W(包括泵) |
输出功率 |
• 等离子溅射:zui大1600VDC和 50mA • 蒸发:10VAC和Max.电流20A(用于钨丝筐)。 |
工作室 |
熔融玻璃管,直径160 mm×110mm高度 |
涂层头 |
包括两个涂层头: • 直流溅射头(2“靶) • 通过钨丝篮热蒸发 |
样品台 |
• 一个50毫米直径的样品台 • zui大涂层面积:45毫米直径 • 包括蒸发夹具用于涂覆轻质金属材料,例如Al,Li,Mg |
包括配件 |
• 带有皮拉尼压力表和蒸汽疏水阀的双级旋片式真空泵(外部)消除了包含的油雾,可达到10-2托的真空 • 附带一个电磁阀,用于自动排气。 |
气氛 |
安装一个针阀,允许Ar气体进入实现更好的等离子涂层 |
靶和蒸发源 |
• 一个Au靶:50毫米直径×0.12 mm厚度,包括1件。 • 包含一根3英尺碳纤维(纱线)用于蒸发(不能使用碳棒进行碳涂层) |
整体尺寸 |
L360mm×W300mm×H380mm |
净重 |
50 kg |
售后服务 |
货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。 |
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