产品名称：紧凑型等离子清洗机

紧凑型等离子清洗机主要特点：

1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物，至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具，可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门，便于样品装载。
4.3"直径石英腔室，适用于清洁2”晶圆，可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。

紧凑型等离子清洗机技术参数：

主要部件	指标名称	参数指标
清洗仓体	清洗仓材质	高纯石英
	清洗仓尺寸	直径120mm;长度280mm
射频电源	电源特性	该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。
	电源优势	● 可长时间正常运行 ● 操作简单灵活 ● 电源效率高、发热少 ● 具有完善的反射功率保护功能
	射频功率	0~100W连续可调/0~150W连续可调
	信号频率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤200W
	功率稳定度	±0.1%
	射频接头	N型头
	整机效率	≥75%
	谐波分量	≤-50 dBc
	冷却方式	强制风冷
气体测量	测量部件	浮子流量计
	气体通道	两通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空获取	真空测量	数字真空计（电阻规）
	真空抽取	双极旋片泵
	电机转速	50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。
	抽气速率	50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。
	真空量程	1Pa～100000Pa
	极限真空1	Pa
	电机噪音	≤56dB
	管道接口	进气口：KF16;排气口KF16.
	连接管道	KF16真空波纹管
	真空阀门	电磁阀
	电机功率	400W
其它	供电电源	AC220V 50/60Hz
	整机功率	1000W/1500W
	使用温度	-10℃--40℃
	工作真空	≤40Pa
	整机尺寸	540mm×650mm×600mm
	整机重量	78kg

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