产品名称：真空等离子清洗机

真空等离子清洗机产品原理：

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
1、控制单元：
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
2、真空腔体：
真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。
3、真空泵：
真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。

真空等离子清洗机技术规格：

主要部件	指标名称	参数指标
清洗仓体	清洗仓材质	高纯石英
	清洗仓尺寸	直径100mm;长度270mm
射频电源	电源特性	该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。
	电源优势	●可长时间正常运行 ● 操作简单灵活 ● 电源效率高、发热少 ● 具有完善的反射功率保护功能
	射频功率	0~100W连续可调/0~150W连续可调
	信号频率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率稳定度	±0.1%
	射频接头	N型头
	整机效率	≥75%
	谐波分量	≤-50 dBc
	冷却方式	强制风冷
气体测量	测量部件	浮子流量计
	气体通道	两通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空获取	真空测量	数字真空计（电阻规）
	真空抽取	双极旋片泵
	电机转速	50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。
	抽气速率	50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	极限真空	0.5Pa
	电机噪音	≤56dB
	管道接口	进气口：KF16;排气口KF16.
	连接管道	KF16真空波纹管
	真空阀门	KF16球阀
	电机功率	400W
其它	供电电源	AC220V 50/60Hz
	整机功率	550W/600W
	使用温度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整机尺寸	540mmX500mmX440mm
	整机重量	58kg（含包装）

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