产品名称：小型高真空二合一镀膜仪

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。为了提高镀膜质量，本台二合一镀膜仪采用的不锈钢真空腔体配合精密分子泵的高真空设计，较高的真空度能够有效的提升镀膜纯净度和均匀度，有利于得到更好的实验效果。样品台有旋转和加热功能，能够提高薄膜的附着力和成膜的均匀度。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，非常适合各大高校及研究机构选用。

小型高真空二合一镀膜仪适用范围：

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。

小型高真空二合一镀膜仪技术参数：

小型高真空二合一镀膜仪
样品台	尺寸	φ138mm	控温精度	±1℃
	加热温度	*高500℃	转速	1-20rpm可调
直流溅射头	数量	2”×1
蒸发系统	蒸发源	钨丝篮	*高温度	1700℃
	热电偶	S型热电偶
真空腔体	腔体尺寸	φ170mm×200mm	观察窗口	石英观察窗 φ70
	腔体材料	不锈钢	开启方式	上开启式
真空系统	产品型号	CY-GZK103-A	抽气接口	KF40
	分子泵	CY-600	排气接口	KF16
	前极泵	旋片泵	真空测量	复合真空计
	极限真空	1.0E-5Pa
	抽气速率	分子泵：600L/S  旋片泵：1.1L/S  综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa
溅射电源配置	数量	直流电源×1	Max 输出功率	150w
其他	供电电压	AC220V,50Hz	整机尺寸	600mm×300mm×470mm
	整机功率	1.5kw	整机重量	40kg

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