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膜厚控制仪
技术特点：
1. 全触屏操作，简单易用；
2.32个膜系，每膜系50/100层自动镀膜；
3. 12路信号输入/12路开关量输出；
4. 提供全自动、半自动、手动控制模式;
5.可控制2个源，一套工作另一套预溶；
技术参数：
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CY-FDC-S控制仪 |
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晶振频率 |
6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体) |
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显示方式 |
5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚 |
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操作方式 |
触摸屏 |
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终 厚 |
00μ0000Å-99μ9999Å |
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厚度显示分辨率 |
1Å/s |
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速率显示分辨率 |
0.1Å/s |
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镀膜层数 |
32膜系，每膜系50/100层； |
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探头数量 |
A B |
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工具因子 |
0.01-99.99 |
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时间显示 |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
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功率显示 |
0～99.9% |
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预熔功率 |
0～99% |
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预镀功率 |
0～99.9% |
|
预熔时间/预镀时间 |
0～99:99 m:s |
|
预熔保温时间 /预镀保温时间 |
0～99:99 m:s |
|
镀膜速率（设定速率） |
0～999.9Å/s |
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材料存储 |
257+自定义10种 |
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通 讯 |
RS232/RS485 |
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可控蒸发源 |
2个，可一套工作另一套预溶 |
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输出控制 |
±10V/5V/2.5V |
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I/接口 |
12路信号输入/12路开关量输出 |
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可控坩埚数量 |
1-16个 |
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镀膜显示 |
速率曲线/数值 |
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镀膜巡回次数 |
每膜系50/100层自动 |
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机箱尺寸 |
480×280×89mm(2U 19”机箱) |
特殊功能：
1、手动、半自动、自动3种镀膜模式，满足多种镀膜机配置；
2、人工停止镀膜：镀膜过程中人工终止镀膜；
3、手动控制：确定初次镀膜工艺要求；
4、中断膜系：自动和半自动镀膜中发现问题或出现故障，能停止镀膜并能自动保存当前状态，待故障**后，可从中断膜系继续镀膜；
5、自动或半自动镀膜时，如晶振失效，可选择按终止镀膜、按当前功率时间镀膜、切换晶片继续（多晶片探头）；
6、两个源同时预熔：当前层镀膜开始过程中，可选择同时对第2层进行预熔，以满足对时间要求紧张的场合；
7、密码保护：膜系和膜层参数密码保护功能，保护工艺参数不被非工艺人员修改；
8、镀膜数据记录：自动或半自动镀膜时，系统可记录每层膜的成膜时间、*终厚度速率参数。
