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CY-MIOP500S-2TA多弧离子镀镀膜仪
多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时，将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来，不仅能明显地改进了膜质量，而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快，薄膜附着力强，绕射性好，膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色，且膜层与基板结合牢固，故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。
设计特色：
本设备配有两个多弧靶，分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率，改善成效果，该镀膜仪还采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的**。
技术参数：
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产品型号 |
CY-MIOP500S-2TA |
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真空腔体 |
水冷不锈钢腔体 φ500mm X 490mm（H） 前开门式，配有φ100mm石英观察窗 内置两组红外加热灯，可对腔体烘烤除气 预留多个CF接口，可安装多路膜厚仪 |
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进气系统 |
质量流量计Ar气0~200sccm， N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制 |
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供电要求 |
AC 220V 50Hz 10kW |
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控制方式 |
15英寸触控屏 组态控制软件 |
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多弧靶 |
数量规格 |
3英寸x2 |
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安装方式 |
腔体侧方对置 |
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工作电流 |
0~150A |
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靶材厚度 |
max50mm，min20mm |
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样品台 |
规格 |
行星式挂架 |
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可悬挂样品数 |
每支挂架上6个挂点，共计6个挂架 |
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转速 |
公转转速1~20rpm |
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真空系统
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产品型号 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
涡轮分子泵 |
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前极泵 |
双极旋片泵 |
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抽气速率 |
分子泵：600L/S |
综合抽气性能：30分钟真空度可达：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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极限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
复合真空计 |
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