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北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台


         北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台


        锦正茂JZM-D30室温探针台的诸多设计都是﹡用的,探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场型号,电源型号,磁场值,样品台的尺寸等,除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台

北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台
技术参数:
①磁场型号:EM3加长版
②电源型号:JP10-40,优于50ppm
③磁场值:>1000Gs@60mm间距
④磁场分辨率:优于0.1Gs
⑤三维探针座:高精度三维探针座4个
⑥载物台直径:30mm
⑦Y轴位移-15mm至200mm,精度优于10微米
⑧X轴位移±15mm,精度优于10微米

⑨Z轴行程10mm,精度优于20微米
⑩R轴旋转:360度粗调,±5°范围内精调,精调精度10'
⑪显微镜:体视显微镜,变倍范围优于10-150倍。

⑫机械加工精度优于10微米。

 

霍尔探头技术参数

Lmm

Tmm

Wmm

Amm

有源区直径

探头方向

频率范围

满量程

工作温区

HALL-100

100

2.5

5.0

3.0

0.3

横向

DC

3T

-40~125

北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台

使用说明

1.将霍尔探头接入高斯计后面板的DB15接口;DC9V电源适配器插入高斯计后面板的供电接口;若使用计算机远程通信,还要用串口线将高斯计后面板的DB9接口连接到计算机串口。

2.DC9V电源适配器插入220VAC插座,高斯计即可上电工作,此时高斯计前面板红色指示灯闪烁,液晶屏显示磁场数据。

3.探头校零:将霍尔探头远离磁场,观察高斯计表头显示是否为零;若显示不为零,需要将霍尔探头进行校零;将探头远离磁场或放入零高斯腔中(推荐,此时将探头前端平行伸入零高斯腔内,不要碰着壁),然后在计算机上打开串口调试工具,输入zero”指令给高斯计,即可探头校零。

4.探头方向识别:霍尔探头T-300为横向探头,磁场敏感元件位于探头的前端约3mm位置;霍尔探头手柄上有“锦正茂”标记的那面对着磁场N极时,高斯计显示磁场值为正值;反之为负值。

5.仪器设置完成,进入正常测量状态。

北航集成电路科学与工程学院采用锦正茂JZM-D30室温探针台

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