控温精度0.5-1K气氛型高温探针台安装成功

近日我们在合肥某研究院成功安装一套气氛型高温探针台，该探针台严格按照客户的使用要求设计制作，得到客户的充分可定。

技术指标：
1· 温度范围：室温-350℃；
2· 控温精度：0.5-1K，和样品台的水冷回路水温稳定性相关，尽量做到*低。
3· 样品台尺寸：51mm
4· 标准K型热电偶
5· 真空度：10E-3Pa；
6· 提供真空抽口*1、气体入口*1、真空释放口*1；
7· 匹配观察窗：1
8· 匹配探针臂：2；探针臂移动精度：10μm；针尖：1μm；探针移动范围：±12.5mm；
9· 另留2个探针臂接口备用；
10.样品台水冷回路；
11.探针臂接口：真空型3同轴接口，所有电学线路采用屏蔽设计，测试精度：pA
12· 样品：51mm  *小1mm  *小电极100um
13· 4升真空，1台 ，显微镜1台