高低温真空磁场探针台T8-EM5的技术参数

高低温真空磁场探针台T8-EM5的技术参数

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。

锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

测试范围：

磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

技术指标：

型号 ：T8-EM5

真空度：高达10^-8Pa

腔体材质：无磁不锈钢或者铝合金

磁场范围：5000Gs@50mm

磁场方向 ：水平（可按用户要求设计成竖直方向的）

配套电源：双极性电源±70A

电源稳定性 ：50ppm（可选10ppm）

制冷方式 ：液氦/液氮制冷/闭循环制冷机

温度范围 ：5K-325K可选500K

控温分辨率：0.001K控温仪相关

温度稳定性 ：优于0.1K依赖于控温仪

温度传感器 ：硅二极管/PT100/Cernox^TM

传感器数量： 样品台、防辐射屏、探针臂各一个

样品台尺寸：（max） Φ50mm，平整度≤7μm

样品台固定方式： 真空硅脂/弹簧压片

样品台材质： 镀金无氧铜

显微镜行程： X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm

放大倍数 ：16~100X/20~4000X

真空腔观察窗尺寸： 1.5inch

窗口材料 ：熔融石英（可选K9、氟化钙等）

探针臂数量： 2、4、6、8可选

探针臂行程： (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换

位移精度 ：10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

接口形式 ：普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等

探针直径 ：0.51mm

针尖直径 ：10μm/5μm/1μm可选

探针材料： 钨/GGB

供电电压 ：AC380V 50Hz/60Hz