定标误差应不大于1%。
部件名称
项目
TCR-D1400
旋转工作台
轴承类型
气浮
主轴精度
±0.025μm
系统精度
0.06μm
测量*大外径
Φ140mm(可扩展)
*小内径
φ3mm
*大承重
60kg
转速
5转/min
垂直轴(Z轴)
垂直移动
300mm(可增高)
垂直移动方式
电动
*大检测深度
60mm
水平臂(X轴)
水平移动
150mm
凸出量
25mm
水平移动方式
检测器
采集器件
圆光栅
圆周采样点数
4096
传感器类型
电感传感器
传感器分辨率
0.01μm
辅助功能
圆度误差
评定方法
*小二乘法(LSC)、
*小区域法(MZC)
*大外接圆法(MIC)、*小内切圆法(MCC)
滤波波段
1、1-500、2-500、2-15、2-50、2-150、15-500、15-50、15-150、15-250、3-16、17-100
凹凸口剔除
自动识别间断、自动和手动剔除凹凸口功能,部分圆弧测量圆度功能
软件功能
圆度、波纹度、同轴度、垂直度、平行度、平面度
京公网安备 11010802025794号