电商MRO供应链今日到货推荐日本SMC 高真空角阀 XLD-40K-M9
高真空角（L 形）阀，用于防止泵在过载时运行。
[功能]
·初始排气阀和主排气阀一体化（两段式流量控制阀）
・ 实现系统紧凑化和节省配管・ 排气时防止灰尘在腔室内卷起
・ 初始排气阀流量可调
・ 气动型/带电磁阀
・ 由于排气量少，因此泵容量小，可缩短排气时间
・ 不含Ni（镍）和Cr（铬）等重金属，溅射率低，因此晶圆上的重金属污染很少
・ 强氟
·均匀的烘烤温度。导热性好，全身温度均匀，大大降低产品粘附性重量轻、结构紧凑
类型气动真空阀 应用一次性使用
安装方向直接 端口数2 通阀
开关类型2 位常闭 管口类型法兰
法兰类型钦哲基金会 法兰公称40
密封类型波纹管密封 Sonic Speed Conductance45 升/秒
引燃港方向翼缘面，左 温度范围（°C）5 至 60
开关部件号无自动切换（带内置磁铁） 开关数量无开关
密封材料FKM 1349-80 泄漏量（Pa·m3/s）内部：1.3 × 10-10，外部：1.3 × 10-11
体表处理外部： 硬质阳极氧化铝， 内部： 基材 密封更换位置没有
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2024/12/17
