ExLASER® 是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
长处
- 可以超快速的温度上升和下降。
- 一次均匀加热 2 英寸基板
- 直接加热只能用于被加热的物体。
- 可根据工艺进行温度控制
- 节能而不加热大气
- MBE 设备的基板加热
- 晶圆退火（SiC、GaAS 等）
- 可对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）
成就示例
激光加热实验
使用 EXL-CT-010DS55，对安装在真空室中的样品进行激光加热。 从样品的背面（与激光照射表面相反）测量温度分布。
1. 蓝宝石衬底（φ2英寸） --- 应用于透明衬底
2. 温度倾斜---组合光学的使用
标准规格
| 型号 EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方法 | 直接型 | 体型 | 高 625 毫米 × 宽 700 毫米 × 深 320 毫米 |
| 激光功率 | 高达 1kW | 附属品 | 专用冷水机组 |
| 激光波长 | 808 纳米 | 额定 |
机身：1P200V20A 冷水机：1P200V15A |
| 激光几何形状 | 广场 | ||
| 光学元件（均匀性） | 均质器 （±5%） | 言论 |
JST Originality 建模 和开发产品 （FY17） |
| 加热区 | □ 55 毫米 | ||
| 工作距离 | 400 毫米~ | ||
* 以上为标准规格。 可以根据客户的要求进行更改。
选项 * 我们将根据您的要求制造
- 真空室
-
温度控制单元・辐射温度计・数字指示器控制器・红外线透射窗
- PCB 支架（用于 2 英寸板）
- 用于组合专用基板支架的光学系统（兼容 □10mm 板）
- 各种衬底（蓝宝石、硅、GaAs 等）
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2024/09/26