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隔膜泵是干式运行的真空泵，完全解决了真空泵的抗化学腐蚀问题。它特别适用于需要抗化学腐蚀或需要长时间不间断运行的场合。所有与气体接触的部位都做特氟龙（聚四氟乙烯PTFE）处理并用碳纤维加固，完全保证了泵的抗化学腐蚀性能。隔膜采用三明治结构（即多层结构），以增加隔膜的韧性和强度。隔膜泵是目前国际真空泵发展的前沿产品，并在国内被越来越广泛地使用。