激光束功率通常使用热传感器和基于光电二极管的传感器来测量。热传感器用于高激光功率测量。*灵敏的热传感器的测量范围为数十微瓦至 100
千瓦及以上。基于光电二极管的传感器通常用于低激光功率测量，通常从 pW 到几百 mW。根据所使用的特定半导体，它们从紫外到近红外的光谱范围。
一、极低功率激光束测量
测量低至
nW、但具有中或远红外区域波长的极低功率激光束非常困难。低功率测量需要光电二极管型传感器。然而，此类传感器的一个问题是光谱范围有限。硅的工作波长约为 1100
nm，而锗或 InGaAs 的工作波长约为 1700 nm 或 1800 nm。使用由特殊材料制成的专门设计的光电二极管并不是一个很好的选择。
波长问题可以使用具有宽带吸收器的热传感器来解决。然而，即使使用*灵敏的传感器模型，也很难执行低至 nW 的低功率测量。
二、Ophir 的 RM9 辐射计
Ophir 推出的 RM9 辐射计系统可以弥补这一差距。 RM9
辐射计是一种具有非常宽光谱区域(从紫外线到深红外线)的传感器，使其能够测量非常低水平的连续波或准连续波源的功率。采用热释电探测器，可以提供所需的光谱带宽。使用斩波器和“锁定放大器”来实现所需的高灵敏度，以便测量低至
nW 的极低功率。
斩波器以 18 Hz 的特定频率工作，将光束转换为脉冲光束。然后热释电探测器使用锁定放大器来感测光束。不考虑不以 18 Hz
脉冲的信号。这种方法将噪声水平保持在*低水平，从而使 RM9 能够执行低至 100 nW 的激光功率测量。与 Vega 仪表耦合的 RM9
辐射计如图所示。
斩波器的 BNC 电缆耦合到传感器的电子模块，而该模块又连接到合适的 Ophir 仪表，例如 Vega 仪表。然后可以在 Vega
仪表中设置测量参数，就像使用任何标准 Ophir 智能传感器一样。使用当前型号，可以执行 100 nW 至 100 mW
范围内的功率测量。该型号指定的光谱范围为 0.15-12 µm。
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