无尘烤箱常见故障及解决办法

无尘烤箱即无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

一、温度匀称性差

原因：

1、功率调配不正当；

2、电热部件路劫；

3、炉子构造不正当招致全部散热过大；

4、炉子密封不L良，全部散热能过大；

5、带风机的炉子气体重复不匀称或者电力有余；

6、热电偶装置地位或者插人深浅使不得体现实正在温度；

7、电热部件散布不正当；

8、炉底温度偏偏低；

9、加热电源缺相，安Q全丝断。

处理办法：

1、从新打算改良功率配置；

2、改换路劫的电热部件；

3、改良炉子构造或者改良结冰办法；

4、审查炉子密封，消弭密封不L良要素；

5、正当安放作件，增微风机的电力；

6、正当取舍热电偶装置地位或者插人深浅；

7、调动电热部件散布；

8、增大炉底加热功率；

9、审查加热电源通路。

二、温度控制失效

原因：

1、温度量具受到干扰；

2、热电偶信号受到干扰；

3、热电偶接触不L良；

4、弥补导线短路或者路劫；

5、热电偶距电热部件太近；

6、温度控制回路发作故障；

7、热电偶遭到了侵蚀，电特点发作了变迁；

8、热电偶对于地，掩护管绝缘升高；

处理办法：

1、采取措施消弭搅扰源；

2、对于信号线增多屏障；

3、紧固热电偶接报端子；

4、审查弥补导线；

5、调动两者间的间隔；

6、培修温度控制回路；

7、改换热电偶；

8、审查热电偶绝缘状况；

三、温度显现值偏低

原因：

1、热电偶参考端温度太高；

2、热电偶栅极漏电；

3、热电偶栅极蜕变；

4、热电偶丈量地位太远；

5、弥补导线与热电偶不匹配；

6、弥补导线与热电偶极性接反；

7、弥补导线绝缘升高

处理办法：

1、审查参考端温度，应相符请求；

2、审查栅极、接报联接；

3、改换热电偶；

4、调动丈量地位；

5、改换弥补导线；

6、准确联接弥补导线；

7、改换弥补导线；

四、温度显现平衡固

原因：

1、热电偶栅极接触不L良；

2、热电偶有断续短路或者路劫；

3、热电偶有断续接地；

4、热电偶地位一直变迁；

5、弥补导线有接地、断续短路或者路劫；

6、温度显现量具故障；

处理办法：

1、从新联接热电偶；

2、审查热电偶消弭故障点或者改换；

3、消弭接地方；

4、流动好热电偶；

5、审查弥补导线，消弭故障点；

6、培修或者改换温度显现表。