对于洁净室的洁净度的维持和控制，除了硬件设备配合投资外，也需要良好的软件--管理制度来配合，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80％。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因，人是主要因素。即使人是*大的污染源，但洁净室总是需要有人操作的，那么该怎么办呢？
一、作业人员之管理，在洁净室内污染来源80％来自作业人员，因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减少大半。
二、进入洁净室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持*好状态的观念和规范:
1、进入洁净室的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和顺序。退出洁净室时，必须按如上顺序、路线进行，不允许将洁净用品带门厅。
2、若有吹淋室，必须按规定进行吹淋后,方可进入洁净室内。同时，严格按照风淋室的规格和使用要求，控制每次进入风淋室风淋的人数，不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋，人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60% 。