1.制造过程中工艺生产设备都是在洁净室内操作的,以供生产工艺机台使用,洁净室与各系统关系如下:
2.LCD制造是一种高度精密化的工业,一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量,因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在,并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。 洁净室的功能目的如下表所述:
为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作**等,在洁净室的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防**报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
作为置放生产机台主体的洁净室,其在整体工程的重要性不言而喻,做好洁净室的施工管理,就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度,是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰,而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体:内装(吊顶、墙板)、DCC、 MAU、FFU。