无尘室防止微粒子污染必须遵守下列几条基本原则：
一、不携入：在进入无尘室不携入微粒子的方法有：
1、工作人员进入无尘室前，将机台、零件携入前应进行清洁处理;
2、进入无尘室工作人员在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的洁净服、帽、鞋、手套、口罩等。通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘车间。
3、机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带入无尘室前用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
二、不储备：若能彻底实施“不携入”技术，洁净室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的洁净室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
三、不发生：在控制*大污染源--人在洁净室内的微粒子发尘量的同时，也应控制**大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到*小限度应采取以下对策：
1、减少接触剥离发尘的动作形态;
2、采用磨耗发尘小的材质;
3、采用发尘小的润滑油;
4、机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
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