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莱宝leybold真空泵真空计的介绍
莱宝leybold真空泵真空计
,又称真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进**压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
按照
莱宝leybold真空泵真空计
测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。
在10~10Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
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