成都爱德华真空泵代理 EPX500L

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产品名称：成都爱德华真空泵代理真空泵代理重庆爱德华广州爱德华真空泵代理北京爱德华真空泵代理爱德华EPX500L EPX500LE EPX500N EPX500NE干
产品型号：EPX500L EPX500LE EPX500N EPX500NE
产品展商：爱德华EDWARDS
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简单介绍

成都爱德华真空泵代理真空泵代理重庆爱德华广州爱德华真空泵代理北京爱德华真空泵代理爱德华EPX500L EPX500LE EPX500N EPX500NE干泵新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的**保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供**的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

产品描述

成都爱德华真空泵代理真空泵代理重庆爱德华广州爱德华真空泵代理北京爱德华真空泵代理爱德华EPX500L EPX500LE EPX500N EPX500NE干泵

概述

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的**保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10^-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供**的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用

EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

EPX500L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头

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EPX500L 干泵 400V SPI TIM 3/8 水接头

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EPX500L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头

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EPX500L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接头

A41951314

EPX500L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接头

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EPX500L干泵 400V MCM TIM 无水接头

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EPX500L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头

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EPX500L 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头

A41951714

EPX500L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头

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EPX500L 干式泵 200V

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EPX500L 干式泵 400V

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EPX500L 干泵 400V SPI TIM 3/8 水接头

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功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的*小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可*大化功率效率。
独特的**保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没��高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBF_p (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，*大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

技术数据

峰值速度	500 m³h^-1
	295 ft³min^-1
	8338 lmin^-1
极限真空
	<1 x 10^-6 mbar
	<7 x 10^-7 Torr
	<1 x 10^-4 Pa
预热时间（达到标称性能）	30 分钟
入口法兰	ISO160
出口法兰	NW25
噪音	<59 dB(A)
*小冷却水流速	2 lmin^-1
冷却水温度	15 – 35°C
电源供给	200/208 V，50/60 Hz，3 相
极限功率	1.4 kW
电机额定功率	3.0 kW
TIM	C3
重量	45.2 kg

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