iXL 干泵 iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。 这些性能**的 泵旨在*大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。
iXL120:紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的*小且*轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
iXL1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的*小且*安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时*大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。