应用
半导体的目标应用包括:PECVD高 K低 KSACVDLPCVDALDEPI
FPD 的目标应用包括:PECVDTCO刻蚀传输腔
主要特性和优势 针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。占地面积更小,高度更低,便于在任何工厂中安装。符合主要的国际标准,包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。