我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用**的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁RTA剥离/灰化刻蚀植入源HDP
CVDRTPSACVDMCVDPECVDLPCVDALD
功能与优势 优化了设施消耗无需预防性维护悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对消音器的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间 - See more at: http://www.edwardsvacuum.com/cn/iH/#sthash.e3K5rZLk.dpuf