● 洁净的真空 ● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能 ● 能在高吸入压强下运作
用途
◆ 照明、电子、光学、半导体 ◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入 ◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气 ◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉 ◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备
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